Maqsad

OptoTl 60/125 interferometrlari (keyingi o'rinlarda interferometrlar deb yuritiladi) optik qismlar sirtlarining tekisligidan va sharsimonligidan og'ishlarni o'lchash uchun mo'ljallangan.

Tavsif

Interferometrlarning ishlash printsipi ulardan aks ettirilgan to'lqin frontlarining interferensiyasi natijasida etalon taqqoslash yuzasi va tekshirilayotgan qismning yuzasi orasidagi bo'shliqda paydo bo'ladigan interferentsiya chekkalari shaklining deformatsiyasini tahlil qilishga asoslangan.

Interferometrlar Fizeau interferometrining vertikal konstruktsiyasiga muvofiq qurilgan. Ular yorug'lik manbai sifatida to'lqin uzunligi 633 nm bo'lgan geliy-neon lazeridan foydalanadilar. Optik kengaytirgich lazer nurlanishini diametri 60 mm bo'lgan parallel nurga aylantiradi. Ekspanderdan so'ng, o'lchanadigan sirtga qarab, mos yozuvlar to'lqini jabhasini tashkil etuvchi tekis yoki sferik nozullar o'rnatiladi.

Tekshirilayotgan qism sozlash stoliga o'rnatiladi va mos yozuvlar yuzasiga nisbatan boshqariladigan sirt interferometrdagi nurlarning avtokollimatsiyasini ta'minlaydigan tarzda o'rnatiladi.

Natijada, ko'krakdan o'tayotganda bitta to'lqin jabhasi - mos yozuvlar - hosil bo'ladi. Ikkinchisi - ob'ekt - boshqariladigan qismning yuzasi tomonidan aks ettiriladi va buziladi. U interferometrga qaytadi va mos yozuvlar bilan aralashadi. Bu interferentsiya naqshini yaratadi.

Sirtlarning shaklini nazorat qilish maxsus dasturiy ta'minotdan foydalangan holda Furye o'zgartirish usuli bo'yicha interferentsiya naqshini tahlil qilish va boshqariladigan sirtning shakl parametrlarini keyinchalik aniqlashga asoslangan.

Konfiguratsiyaga qarab, kengaytirgichdan keyin tekis sirtlarni o'lchash uchun teleskopik tizim shaklida tekis biriktirma yoki sharsimon yuzalarni o'lchash uchun linzalar shaklida sferik biriktirma o'rnatilishi mumkin.