Maqsad

FTI lazerli interferometrlari (bundan buyon matnda interferometr deb yuritiladi) optik sirtlarning tekisligidan chetlanishlarni o'lchash uchun mo'ljallangan.

Tavsif

Optik yuzalarning tekisligidan chetlanishlarni oʻlchash toʻlqin interferensiyasi natijasida tekshirilayotgan qism yuzasi va etalon taqqoslash yuzasi oʻrtasidagi boʻshliqda paydo boʻladigan interferentsion chekkalar shaklining deformatsiyasini tahlil qilishga asoslanadi. jabhalar ulardan aks etadi.

Interferometr quyidagi asosiy bloklardan iborat: optik-mexanik blok, mos yozuvlar plitasi uchun nayzali o'rnatish bloki va interferometrni boshqarish va interferogrammalarni tahlil qilish uchun dasturiy ta'minotga ega kompyuter. Majburiy emas, interferometr piezo haydovchiga ega bo'lgan fazani almashtirish bloki bilan jihozlanishi mumkin.

Interferometrda yorug'lik manbai sifatida to'lqin uzunligi 632 nm bo'lgan He-Ne lazeri yoki to'lqin uzunligi 532 nm bo'lgan DPSS lazeridan foydalanish mumkin. Optik-mexanik blok lazer nurlanishini o'zgartiradi va tekis to'lqin jabhasini hosil qiladi. Keyinchalik, to'lqin jabhasi nayzali o'rnatishga o'rnatilgan mos yozuvlar plitasi yordamida ikkiga bo'linadi. Bir to'lqin jabhasi, mos yozuvlar to'lqin jabhasi mos yozuvlar plitasining yuzasidan to'g'ridan-to'g'ri interferometrga qaytariladi. Ikkinchisi - ishchi to'lqin jabhasi - standartdan o'tadi va boshqariladigan qism tomonidan buziladi. Shuningdek, u interferometrga qaytadi va mos yozuvlar bilan aralashadi. Olingan interferentsiya naqshini tahlil qilish o'lchangan optik sirt tekisligidan og'ishlar haqida ma'lumot beradi.